(1) Išankstinis PVD apdorojimas, įskaitant daiktų valymą ir išankstinį apdorojimą.Konkretūs valymo metodai apima valymą plovikliu, valymą cheminiais tirpikliais, valymą ultragarsu ir jonų bombardavimą.
(2) Įdėkite juos į krosnį, įskaitant vakuuminės kameros valymą ir armatūrą bei elementų ir tvirtinimo detalių montavimą, paleidimą ir prijungimą.
(3) Siurbiant, paprastai siurbiant iki 6,6 Pa ar daugiau, anksčiau atidarykite difuzijos siurblio priekį, kad palaikytumėte vakuuminį siurblį ir pašildytumėte difuzijos siurblį.Pakanka pašildyti, atidaromas aukštas vožtuvas ir difuzijos siurbliu pumpuojamas į 6 x 10-3 Pa pusiau apačią vakuumą.
(4) Kepimas, gaminių kepimas iki norimos temperatūros.
(5) Jonų bombardavimas, vakuumas paprastai yra nuo 10 Pa iki 10-1 Pa, jonų bombardavimo įtampa yra neigiama aukšta įtampa nuo 200 V iki 1 KV, o atakos laikas yra nuo 15 min. iki 30 min.
(6) Išankstinis lydymas, srovės reguliavimas, kad medžiaga išlydytų, srovės reguliavimas, kad dengimas išlydytų, ir degazavimas 1–2 minutes.Išgaruojantis nusodinimas.Garavimo srovė reguliuojama pagal poreikį, kol pasibaigs norimas nusodinimo laikas.Aušinimas, daiktai atšaldomi iki tam tikros temperatūros vakuuminėje kameroje.
(7) Išėmus daiktus, vakuumo kamera uždaroma, vakuumas ištuštinamas iki l × l0-1Pa, o difuzinis siurblys atšaldomas iki leistinos temperatūros prieš išjungiant priežiūros siurblį ir aušinimo vandenį.